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- 제품의 두께와 폭을 동시 검사- 3D 영상을 이용한 검사 기술 보유
- 평면 대상체에 Pattern 형성 설비 기존 TFT/CF Photolithography 및 Cell 공정에서의 패턴을 Direct로 형성- Pattern 및 Align 기술 보유